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Technologie von MEMS-Elementen auf der Basis nanokristalliner Diamantschichten für eine hybride Integration

Technologie von MEMS-Elementen auf der Basis nanokristalliner Diamantschichten für eine hybride Integration

Paperback | German

  • $28.14
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Book information

ISBN: 9783869552842
Publisher: Cuvillier
Language: German
Weight: -1g