Publisher's Synopsis
Im vorliegenden Buch wird die Technologie von hochintegrierten Schaltungen behandelt. Es werden zunchst sehr ausfhrlich und praxisnah die verschiedenen technologischen Verfahren und Einzelprozesse aus den Bereichen Lithographie, Schicht-, tz- und Dotiertechnik beschrieben. Danach folgen Beispiele fr die Integration der Einzelprozesse zur Herstellung von CMOS-, Bipolar- und BICMOS-Schaltungen. Sowohl die Einzelprozesse als auch die Prozeintegration sind anschaulich mit zahlreichen Bildern dargestellt. Das Buch vermittelt nicht nur eine gute bersicht, sondern auch sehr detaillierte Informationen ber den modernsten Stand der Technologie hochintegrierter Schaltungen, wie sie z.B. bei der Herstellung des dynamischen IMEGA-Bit-Speichers Anwendung findet. Darber hinausgehende Entwicklungen, die in den Sub-Mikrometer-Bereich fhren, werden ebenfalls beschrieben.
