Publisher's Synopsis
La combinaison de la technologie des plasmas froids avec les m�thodes de micro et nanofabrication ouvre de nouvelles perspectives pour l'�laboration de nouveaux microsyst�mes microfluidiques d�di�s � l'analyse biologique, m�dicale et environnementale. L'industrialisation des BioMEMS passera tr�s probablement par la r�alisation de la quasi- totalit� des �tapes de fabrication par une suite de proc�d�s plasmas froids automatis�s, principalement � pression atmosph�rique. Au-del� des r�sultats exp�rimentaux et des d�veloppements concernant les BioMEMS, les plasmas froids et la spectroscopie THz, ce livre tente d'apporter un �clairage sur les orientations futures et les enjeux d'avenir pour les trois domaines sus-cit�s. Cet �clairage devrait permettre d'op�rer des changements et d'�laborer des choix strat�giques d�s maintenant, afin de rester comp�titif au cours des dix prochaines ann�es et pouvoir ainsi pr�tendre � une petite part du grand march� des nouvelles technologies.
